前言
第1章概论
1.1真空及真空获得设备
1.2大气压力
1.3真空度
1.4真空区域划分
1.5真空应用
第2章泵与真空泵
2.1泵的含义
2.2泵的分类
2.2.1基于泵的主轴方向不同的分类
2.2.2基于泵的吸口数目不同的分类
2.2.3基于泵的工作原理不同的分类
2.3真空泵
2.3.1真空泵的主要性能参数
2.3.2真空泵的名称与代号
2.3.3真空泵型号组成
2.3.4真空泵的分类
2.3.5真空泵的工作压力范围
习题
第3章罗茨真空泵
3.1罗茨真空泵的种类
3.2罗茨真空泵的转子形状
3.3罗茨真空泵的工作原理
3.4罗茨真空泵的结构特点
3.5罗茨真空泵的基本参数确定
3.5.1几何抽速
3.5.2实际抽速
3.5.3有效抽气量
3.5.4零流量时压缩比
3.5.5有效压缩比
3.5.6功率
3.6罗茨真空泵设计案例
3.6.1转子型线计算
3.6.2转子型线绘制
3.6.3抽速验证
习题
真空获得设备及应用
目录
第4章螺杆真空泵
4.1螺杆真空泵的种类
4.1.1基于螺杆数量不同的分类
4.1.2基于螺杆头数不同的分类
4.1.3基于气体压缩方式不同的分类
4.2螺杆真空泵的工作原理
4.2.1吸气过程
4.2.2压缩过程
4.2.3排气过程
4.3螺杆转子端面型线
4.3.1单头梯形型线
4.3.2矩形型线
4.3.3螺杆转子三维模型建模案例
4.4螺杆真空泵的基本参数确定
4.4.1螺杆长度、螺纹升角与导程
4.4.2面积利用系数
4.4.3吸气容积与几何抽速
习题
第5章液环真空泵
5.1液环真空泵的种类
5.2液环真空泵的工作原理
5.3液环真空泵的基本参数确定
5.3.1抽气速率
5.3.2极限压力
5.3.3轴功率和效率
习题
第6章旋片真空泵
6.1旋片真空泵的种类
6.2旋片真空泵的工作原理
6.3旋片真空泵的结构特点
6.4旋片真空泵的基本参数确定
6.4.1极限压力
6.4.2抽气速率
6.4.3功率
6.5单级旋片真空泵设计案例
6.5.1基本参数的选取
6.5.2主要几何尺寸的计算
习题
第7章滑阀真空泵
7.1滑阀真空泵的工作原理
7.2滑阀真空泵的结构特点
7.3滑阀真空泵的基本参数和主要尺寸确定
习题
第8章低温真空泵
8.1低温真空泵的种类
8.2低温真空泵的工作原理
8.3低温真空泵的结构特点
8.4低温真空泵的基本参数确定
8.4.1极限压力
8.4.2抽速
8.4.3排气量
8.4.4制冷时间、功率及温度
习题
第9章分子真空泵
9.1分子真空泵的种类
9.1.1基于转子结构特征的分类
9.1.2基于轴承特性不同的分类
9.2分子真空泵的工作原理
9.2.1牵引分子真空泵的工作原理
9.2.2涡轮分子真空泵的工作原理
9.3涡轮分子真空泵的结构特点
习题
第10章真空系统
10.1真空室
10.2真空测量
10.3真空阀门
10.4真空机组
10.4.1低真空机组
10.4.2中真空机组
10.4.3高真空机组
10.4.4超高真空机组
10.5真空系统性能实验装置
10.5.1容积式真空泵标准测试台
10.5.2真空泵（机组）性能研究实验台
10.6真空系统的抽气时间
10.6.1粗真空、低真空下的抽气时间
10.6.2高真空下的抽气时间
10.6.3真空室压力下降时的抽气时间
10.7选泵与配泵
习题
第11章真空设备
11.1真空干燥设备
11.2真空镀膜设备
11.3真空包装设备
11.4真空输送设备
11.5真空过滤设备
11.6真空绝热设备
11.7真空热处理设备
参考文献