前言
第一章精密和超精密加工技术概述1
第一节精密和超精密加工技术的发展
与现状1
第二节精密和超精密加工技术的作用3
第三节精密和超精密加工技术发展趋势6
结束语8
思考题8
第二章超精密切削加工和金刚石
刀具9
第一节超精密车削技术与金刚石刀具9
第二节单晶金刚石刀具切削有色金属10
第三节单点金刚石超精密切削KDP
晶体13
第四节单晶金刚石刀具超精密切削
氟化钙15
第五节单点金刚石切削技术在EOS靶制备
中的应用19
第六节金刚石刀具刃磨技术22
思考题24
第三章精密和超精密磨削加工25
第一节概述25
第二节普通磨料砂轮精密磨削32
第三节超硬磨料砂轮精密磨削46
第四节精密和超精密磨削砂轮的选择
与修整49
第五节超精密磨削加工53
思考题59
第四章精密和超精密加工机床60
第一节概述60
第二节超精密加工机床现状及典型超精密
机床简介61
第三节我国超精密加工设备的研发对策
与展望70
第四节超精密加工机床的关键技术72
第五节超精密加工的在线检测74
第六节超精密加工的误差补偿78
第七节超精密加工的检测设备与仪器83
思考题95
第五章研磨与抛光96
第一节研磨加工96
第二节抛光加工104
第三节研磨抛光新技术106
第四节曲面超精密抛光110
思考题115
第六章超精密特种加工技术116
第一节概述116
第二节激光加工116
第三节电子束微细加工127
第四节离子束微细加工133
第五节微细电火花加工137
第六节超声波微细加工144
第七节电化学加工151
第八节ELID镜面磨削技术158
第九节微细磨料流加工162
第十节等离子体加工166
第十一节基于微机器人的超精密加工
技术168
思考题170
第七章超精密加工的影响因素172
第一节气源压力波动的影响172
第二节环境温、湿度变化和振动的
影响173
第三节空气的影响177
第四节噪声的影响179
第五节其他因素的影响179
思考题180
第八章纳米技术181
第一节概述181
第二节纳米尺度的表征方法181
第三节纳米级加工技术和原子操纵184
思考题192
参考文献193